国科大交叉学院邀请中国科学院半导体研究所研究员王晓东研究员做“半导体微纳加工技术进展”前沿学术报告
3月28日下午13：30，国科大前沿交叉科学学院主办的“前沿交叉科学与技术论坛-集成电路方向”第二场讲座在雁栖湖校区教二楼101教室顺利举行。中国科学院微电子研究所王盛凯研究员受邀作题为《半导体微纳加工技术进展》的学术报告，交叉学院刘向峰教授主持，100余名集成电路方向博士生参与交流学习。
半导体材料电磁加工技术与多物理场交叉应用
王晓东研究员以半导体材料电磁加工过程的工程需求为切入点，结合其主持国家重点研发计划、仪器研制项目的经验，系统回顾了电磁场技术在材料成形、凝固调控中的应用历程。他结合负责的国内外百余家研究机构参与的半导体工艺项目，阐释了电磁测量、磁场设计、多物理场数值模拟等技术手段在提升材料加工效率中的作用。其团队开发的洛伦兹力微颗粒探测仪、薄材缺陷电磁在线监测仪等装置，体现了电磁技术向高精度、低成本方向的发展趋势。
图一：王晓东研究员作专题报告
立足学科交叉，推动技术创新
互动环节中，博士生围绕电磁场技术在多领域应用的瓶颈展开探讨。王晓东研究员结合其主持的"固液体系微颗粒实时监测"、"金属液滴电毛细运动"等研究，强调复杂流体电磁测控需融合传热学、流体力学等多学科知识。
搭建学术平台，促进跨学科合作
此次学术报告为交叉学院师生搭建了与领域专家深度互动的桥梁，推动了电磁加工技术与磁流体力学、多物理场建模等前沿领域的交叉合作。学院将持续汇聚国内集成电路相关学科的专家，围绕集成电路等战略新兴领域，定期举办学术论坛。通过邀请相关领域的专家学者，共同探讨前沿技术进展及其与自然科学、工程技术与社会经济的交叉研究、合作交流与人才培养等内容，深化科教融合，促进集成电路前沿交叉研究和高层次人才培养。
报告人简介
王晓东，博士，现任中国科学院半导体研究所研究员、博士生导师、集成技术工程研究中心主任。主要研究领域有纳米热电器件、高效太阳能电池等。多年来还负责了大量半导体工艺加工项目，涉及国内外百余家研究机构，大学，及公司企业等，内容包含了微电子、光电子等众多领域，积累了丰富的技术以及大型半导体工艺平台运行管理经验。主持国家重点研发计划、国家自然科学基金以及中国科学院科研仪器设备研制项目等多项；发表和合作发表论文百余篇；出书2本（Springer出版），总下载量已超过11万次；北京市科学技术奖一等奖成员；已培养多名博士、硕士，获2023年度中国科学院大学朱李月华优秀教师奖。
